B11 · Semiconductor & Electronic Gas
Chọn thép 316L/304L và danh sách 6 vị trí cho thép không gỉ cho khí đặc biệt điện tử
Trong khí đặc biệt điện tử, chúng tôi đã tổng hợp 6 vị trí sử dụng thép không gỉ: thường dùng 316L / 304L, độ dày từ 0.05–30 mm.
Danh sách 6 vị trí và danh sách lựa chọn
| Vị trí / Đơn vị | Mã số đề xuất | Quy chuẩn / Độ dày | Bề mặt | Thảm họa chính | Điều kiện tham chiếu |
|---|---|---|---|---|---|
| Dây dẫn khí UHP | 316L VIM-VAR | 1/8″–2″ | Ra điệnĐựng≤0.4μm; thử corrosion intergranular | BọtXóa điểm ăn mòn→đáy wafer bẩn, Cl⁻/F⁻Trượt, khu vực nóng chảy HAZ oxy hóa | SEMI F20 Grade 5；ASTM A269/A632；SEMI F19 |
| Valve | 316L VIM-VAR forging | DN1/4″–1″；Cv 0.05–1.30 | Ra điện ≤0.4μm | Khoảng cách van và mặt trong ống >1D tạo vùng chết;Xé điểm | SEMI F20 4.6.2；ASTM A182 |
| Phân loại lọc khí/ khớp/ kẹp | 316L VIM-VAR | Theo cổng | Ra điện ≤0.4μm | Điều kiện | SEMI F20；ASTM A269 |
| Lọc khí CMP/ chất hóa học ướt | 316L Bề ngoài EP/PFA/PTFE | 1/4″–2″ | Ra điện ≤0.4μm | Đánh bóng+ Acid mạnh/ Oxi hóa mạnh+ Bột đọng | SEMI F20；SEMI F57；ASTM A269 |
| Hệ thống rửa silicon/phụ kiện/tia nước áp lực | 316L/PFA/glass/carbonitơ | Bình chứa 3-10mm | Đục phun/Chromizing | Khối lượng Corrosion+Nặng | SEMI F20；ASTM A240 |
| Hộp chân không, Khe, Đăng ký, Ống kính quan sát | 304L/316LKhíKhí vô định piston | Kích Thước 6–30mm | 2B/Đánh Bạc/Sạch Acid | Giảm độ Tránh khí; LeakNunging | ASTM A240；SEMI F20；ISO 3669 |
Trong bảng làChỉnh sửa thông thường. Loại cùng một loại phôi trong môi trường, nhiệt độ và phương pháp hàn có thể từ 304 thành 316L hoặc 2205 —— Nói rõ điều kiện sử dụng sẽ tiết kiệm thời gian hơn là chỉ định mã số.
Điểm cần lưu ý về lựa chọn vật liệu
- Nguyên mẫu phổ biến nhất trong ngành là 316L (6), 304L (1) ——Chọn sản phẩm (1), có thể làm điểm khởi đầu cho báo giá và đặt hàng.
- Chất axit 316L chỉ là bắt đầu, độ ph và nhiệt độ tăng lên thì xem 904L / duplex (2/6 mục khớp).
- Khoảng dày từ 0.05–30 mm: tấm mỏng thường dùng cho các chi tiết tạo hình (xem lại cong sau khi ép và nén), tấm dày thường dùng cho cấu trúc hàn (xem lại nhiệt lượng truyền vào và biến dạng).
Các câu hỏi thường gặp
Sử dụng loại thép không gỉ nào nhiều nhất cho khí điện tử và bán dẫn?
Theo thống kê tổng thể, 316L xuất hiện nhiều nhất (6 mục), tiếp theo là 304L (1 mục). Cụ thể đến từng chi tiết vẫn cần xem môi trường và nhiệt độ, ví dụ như mặt bàn bằng thép không gỉ cũng cần thay đổi từ 304 sang 316L khi tiếp xúc với nước mặn.
Điểm nào dễ gặp vấn đề nhất?
Theo mô tả về sự hỏng hóc, Điển hình là "ống dẫn khí UHP", Bụi bám lại → tinh thể bịXóa bỏ lỗi bẩn, Ăn mòn Cl⁻/F⁻ đặc biệt, Ăn mòn khu vực hàn, Khuyến nghị loại thép 316L VIM-VAR, kích thước 1/8″–2″, Những điều kiện này nên được nói rõ trong giai đoạn thiết kế sơ đồ
Thickness thường chọn như thế nào?
Danh sách chứa khoảng dày từ 0.05–30 mm. Thép mỏng cần xem tạo hình và bề mặt, thép dày cần xem hàn và độ cứng cấu trúc; cùng một vị trí nhưng các nhà sản xuất khác nhau có thể chọn khác nhau, hãy kiểm tra theo sơ đồ hoặc điều kiện công việc của bạn.
Materials liên quan và ngành nghề liên quan
Applications6