S6 · UHP 316L for Semiconductor
Semi UHP 316L (Danh sách các loại vật liệu và giới hạn cho 316L/304L)
Xem danh sách các loại vật liệu, mã số và điều kiện giới hạn liên quan đến Semi UHP 316L: 4 trường hợp công việc tiêu chuẩn, bao gồm mã số đề nghị, quy cách, nguyên nhân hỏng hóc và tiêu chuẩn.
Danh sách nguyên liệu cho 4 vị trí
| Vị trí / Đơn vị | Mã số đề xuất | Thông số / Độ dày | Bề mặt | LoạiKết thúc tình huống chính | Đề xuất tiêu chuẩn |
|---|---|---|---|---|---|
| Dây dẫn gas UHP | 316L VIM-VAR | S 0.005–0.010% ; O ≤7ppm; tạp chất ASTM E45 A/B/C/D fineness ≤0.5 grade | Khảo sát độ nhẵn máy móc Ra ≤ 0.25 μm → Điện hóa Ra ≤ 0.13 μm; Độ nhẵn cao cấp Ra ≤ 0.05 μm | Ngấm nhiễm hạt hoặc ion kim loại là nguyên nhân chính gây hỏng; Corrosion giữa lớp và HAZ của điểm hàn là phụ nhưng không thể bỏ qua | SEMI F20 Grade 5；SEMI F19；SEMI F57 |
| Khối van body valve/giảm áp/van đệm mút | 316L VIM-VAR van forging | S≤0.005%；CGiá cực thấp | Điều chỉnh điện Ra≤0.2μm；không có sắt tự do | Khởi động van đến lòng ống >1D tạo vùng chết lưu, Bảo dưỡng, Mất corrosion độc gas | SEMI F20 4.6.2；ASTM A182 |
| CMP/ hóa chất ướt cho đường ống | 316L Ep/PFA/PTFETrang bị inner | Theorize SEMI F20 composition | Ra≤0.2μm | Wear by abrasive + strong acid/oxidant + particle retention | SEMI F20；SEMI F57 |
| Vacuum chamber/Faceplate | 304L/316LThiết lập độ trong suốt | Độ thải không khí thấp là trọng tâm, không phải sulfur/oxygen | 2B/điều quang/acid tẩy rửa | Không đạt tiêu chuẩn độ trong suốt → độ trong suốt giảm; rò rỉ khi hàn | ASTM A240；ISO 3669 |
Trong bảng làCấu hình thông thườngMẫu phụ tùng khác có thể từ 304 thành 316L hoặc 2205 dựa trên điều kiện sử dụng - chỉ định mã số rõ ràng hơn.
Điểm cần lưu ý về lựa chọn thép
- CácMã số xuất hiện nhiều nhất trong ngành: 316L (4), 304L (1)
- 316L chỉ là điểm khởi đầu. Khi môi trường axit tăng nồng độ và nhiệt độ thì cần đến 904L / duplex (2/4 mục tiêu khớp).
- Khoảng dày từ 0.005–0.01 mm: tấm mỏng thường dùng cho các bộ phận được tạo hình (xem lại biến dạng khi uốn cong và nén), tấm dày thường dùng cho cấu trúc liên kết bằng rìu (xem lại nhiệt lượng truyền vào và quá trình hóa).
Các câu hỏi thường gặp
UHP 316L trong ngành bán dẫn: loại thép nào sử dụng nhiều nhất theo SEMI F20?
Theo thống kê tổng thể, xuất hiện nhiều nhất là 316L (4), 304L (1). Tuy nhiên, tùy thuộc vào môi trường và nhiệt độ, một bộ phận cụ thể có thể cần từ 304 chuyển sang 316L.
Điểm nào thường gặp sự cố?
Nồng độ và nhiệt độ trong giai đoạn thiết kế.
Chọn độ dày như thế nào?
Dây chuyền từ 0.005–0.01 mm
Xem hình dạng và bề mặt thép mỏng, Xem sức mạnh hàn và cấu trúc thép dày, Giá trị khác nhau giữa thiết bị sản xuất, Kiểm tra theo bản vẽ hoặc điều kiện công việc
316LMã và đặcLoại vật liệu liên quan đến tính chất và ngành nghề tương ứng304LLoại vật liệuKẹp vít bằng thép không gỉ: A2-70/A4-70/A4-80/D series và tiêu chuẩn mới nhấtStainless FastenersỐngmặt bích: 2205/2507 áp suất- nhiệt độ-corrosion boundary, Điều Hòa Không Khí: 2205/2507 áp suất- nhiệt độ-corrosion boundaryDuplex Flange & DesalinationValve van với đệm da vệ sinh / van sạch: ASME BPE, Ra và giới hạn nhiệtSanitary Valves